產(chǎn)品信息

  特　點(diǎn)

● 最適合工藝過(guò)程中的薄膜高速測(cè)量

● 最短曝光時(shí)間1ms～※根據(jù)規(guī)格

● 支持遠(yuǎn)程測(cè)量

● 膜厚測(cè)量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）

  基本配置

  多點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)切換對(duì)應(yīng)系統(tǒng)

在多點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)切換對(duì)應(yīng)系統(tǒng)中，通過(guò)在TD方向預(yù)先設(shè)置任意寬度的多分支光纖，可以在不驅(qū)動(dòng)光纖的情況下測(cè)量TD方向的膜厚分布。可以作為涂層的條件和實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。

檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)為1式，通過(guò)光纖的光路切換可以進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)定。

  橫動(dòng)單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)

在橫動(dòng)單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)中，通過(guò)在TD方向上驅(qū)動(dòng)橫動(dòng)單元，可以以任意寬度和任意間距測(cè)量TD方向的膜厚分布。

可以作為涂層條件提出和實(shí)時(shí)監(jiān)控使用。 由于通過(guò)排線(xiàn)單元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量，因此無(wú)需準(zhǔn)備多臺(tái)檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理。

  即使在真空環(huán)境下也可以在多點(diǎn)進(jìn)行反射、透射光譜測(cè)定

通過(guò)使用各種法蘭對(duì)應(yīng)的耐真空纖維，可以在高真空下測(cè)量反射、透射光譜。

另外，膜厚運(yùn)算不易受到基膜的上下移動(dòng)的影響，并且采用精度良好的薄膜測(cè)量大冢電子獨(dú)自的算法，可以作為實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。