產(chǎn)品特色

動畫

即時檢測

WAFER基板于研磨制程中的膜厚

玻璃基板(強酸環(huán)境中)于減薄制程中的厚度變化
 

產(chǎn)品特色

● 非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測
● 采用分光干涉法實現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性
● 可進行高速的即時研磨檢測
● 可穿越保護膜、觀景窗等中間層的檢測
● 可對應(yīng)長工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線或者設(shè)備中
● 體積小、省空間、設(shè)備安裝簡易
● 可對應(yīng)線上檢測的外部信號觸發(fā)需求
● 采用最適合膜厚檢測的獨自解析演算法。(已取得專利)
● 可自動進行膜厚分布制圖(選配項目)

規(guī)格式樣

※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 最小φ6μm